高精度半导体厂房暖通空调系统浅析
摘要
随着科技的发展,高精度半导体厂房的建设和发展备受关注。文中研究了高精度半导体厂房的暖通系统,半导体厂房作为关键的生产基地,其环境对温湿度和空气质量的要求极高,以确保生产过程的稳定性和产品质量的提升。在我国,随着半导体产业的迅速发展,对高精度半导体厂房暖通系统提出了更高的要求。文中分析了在发展中的挑战与机遇,探讨了如何针对半导体厂房的需求进行系统设计和管理。通过研究,此文为高精度半导体厂房的暖通系统发展提供了一些有益的思路和建议。
关键词
高精度半导体;厂房暖通;暖通空调;空调系统
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DOI: https://doi.org/10.33142/aem.v6i6.12068
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