工程建设

基于GMR的机床振动传感器设计与性能分析

王晓燕, 刘亚伟, 刘立兵, 赵方

摘要


依据精密加工过程中机床振动频率特点，设计了一种基于巨磁阻单元的三轴加速度传感器。该三轴加速度传感器机械感应部分采用对称四翼式结构，通过合理布局巨磁阻单元构成的惠斯通电桥测量三个方向的加速度，机械感应部分与信号输出部分的一体化设计大大减小了产品体积。对三轴加速度传感器进行了灵敏度仿真与试验，详细分析了仿真与试验的结果。

关键词


机床振动；巨磁阻(GMR)；加速度传感器；一体化设计；灵敏度仿真与试验

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参考


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DOI: https://doi.org/10.33142/ec.v4i7.4182

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