硅片超精密磨床的发展现状

摘要

超细硅晶圆磨床是半导体集成电路（IC）生产的重要设备。主要应用于 IC制程芯片的制作与处理，以及 IC后处理芯片的粘接。国外超精密硅片研磨设备的生产技术得到了快速的发展，其特点是精度高、集成化、自动化。文中主要阐述了超细研磨技术在超细硅片（φ300 mm）上的应用。对国外超细铣床的性能进行了全面的综述。最后，提出了大尺寸硅晶圆超精密制造技术的发展方向。