电子级多晶硅的生产工艺探讨

摘要

电子级多晶硅是半导体制造中至关重要的材料，其质量和纯度直接影响半导体器件的性能。文章探讨了电子级多晶硅的生产工艺，着重分析了多晶硅技术的特殊性及我国在这一领域的差距，通过对电子级多晶硅生产工艺的详细讨论，包括还原技术、提纯技术、耦合生产技术和清洁生产技术等方面的分析，旨在为提高我国电子级多晶硅生产水平提供参考。