智能城市应用

电子级多晶硅的生产工艺探讨

霍海洋, 宗佰利

摘要


电子级多晶硅是半导体制造中至关重要的材料,其质量和纯度直接影响半导体器件的性能。文章探讨了电子级多晶硅的生产工艺,着重分析了多晶硅技术的特殊性及我国在这一领域的差距,通过对电子级多晶硅生产工艺的详细讨论,包括还原技术、提纯技术、耦合生产技术和清洁生产技术等方面的分析,旨在为提高我国电子级多晶硅生产水平提供参考。

关键词


电子级多晶硅;生产工艺;还原技术;提纯技术

全文:

PDF

参考


赵云,陈辉.电子级硅料清洗质量影响因素分析[J].绿色矿冶,2023,39(6):49-52.

袁庆波,马启坤,任玖阳.电子级多晶硅除硼工艺研究及应用[J].云南冶金,2023,52(1):158-161.

闫可欣,姜洪涛,高维群,等.电子级多晶硅原料中痕量硼磷杂质的脱除研究进展[J].化工学报,2010(1):1-24.

杜斌功,刘虎.电子级多晶硅清洗工艺探讨[J].山西化工,2023,43(7):61-63.

潘文杰,马彦春.电子级多晶硅的清洗液选择[J].清洗世界,2023,39(4):28-30.




DOI: https://doi.org/10.33142/sca.v7i2.11235

Refbacks

  • 当前没有refback。


版权所有(c){$ COPYRIGHTYEAR} {$ copyrightHolder}

Creative Commons License
此作品已接受知识共享署名-非商业性使用 4.0国际许可协议的许可。